• 晶体生长炉

详情介绍

一·设备用途:

主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。

二·设备特点:

本设备采用分体模块化设计,立式底出料结构,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,***整洁大方。

三·主要技术参数

1.**加热温度:              1800℃

2.功率:                    80Kw±10%单相整流
2.冷态极限真空度:            ≤5×10E-**a

3.压升率:                  ≤2Pa/h
4.炉体尺寸:                Ф750×1065mm(直径×高)

5·工作尺寸:                Ф320×300

6.测温系统:                 热电偶

7.控温精度:                 ±0.1℃,采用欧陆温控仪表

8.加热区:                   一区

9.坩埚升降参数:              位移行程 400mm

慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

 快速升降50-200mm/min(伺服控制)

10.底出料参数:                 位移行程 850mm

  升降速度100-1000mm/min

11·炉内充气压力:             ≤0.05MPa

12·充放气系统:               两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)